Nd-Fe-B/FeCo多层纳米复合膜的结构和磁性

摘要

制备了Nd28Fe66B6/Fe50Co50多层纳米复合磁性薄膜,对溅射态和650℃退火处理15 min试样的相成分分析和微结构的观察显示,溅射态薄膜呈非晶态,经650℃退火处理15 min后,薄膜主要相成分为硬磁性Nd2Fe14B相和软磁性相FeCo(110)相.Nd2Fe14B相呈柱状,其易磁化c轴垂直于膜面,尺寸约10 nm.在硬磁性相和软磁性相之间存在少量富Nd相和非晶态,富Nd相大小约7 nm.磁性测量和分析表明,1)该系列薄膜退火态具有垂直于膜面的磁晶各向异性.2)对于固定厚度(10 nm)层Nd-Fe-B和不同厚度(tFeCo=1-100 nm)层FeCo多层纳米复合膜,剩磁随软磁相FeCo厚度的增加快速增加,而矫顽力则减小.当tFeCo=5 nm时,最大磁能积达到200 kJ/m3.3)硬磁相Nd-Fe-B层和软磁相FeCo层之间交换耦合导致剩磁和磁能积增强.