带玻璃衬垫的硅泡沫薄膜压痕理论的近似解析与数值研究

摘要

基于弹性和多胞/泡沫固体理论,用近似解析和数值方法研究了带玻璃衬垫的硅多胞/泡沫薄膜压痕问题.研究的重点在于考察接触区的压力分布和压痕临界深度εc,并将计算得到的理论结果与实验结果进行了对比,两者基本一致.为了对这类薄膜结构系统完整性作合理的评估,分析了多胞/泡沫材料变形和破损机理,由此提出了压痕能概念并给出了相应的解析表达式.