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溶液法铝诱导晶化制备多晶硅薄膜

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采用铝(Al)盐溶液作为诱导源进行了非晶硅晶化成多晶硅的研究.光学显微镜观测与Raman光谱分析表明,合适配比的铝盐溶液能够将非晶硅予以诱导晶化.采用剥层XPS测试分析,探究了Al盐溶液与硅表面可能的化学反应以及随之发生的硅-铝层交换的过程.最后对溶液法诱导晶化的机理进行了讨论.

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来源
《物理学报》 |2009年第9期|6560-6565|共6页
作者
罗翀; 孟志国; 王烁; 熊绍珍;
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作者单位

南开大学光电子器件与技术研究所,天津,300071;

南开大学光电子器件与技术研究所,天津,300071;

南开大学光电子器件与技术研究所,天津,300071;

南开大学光电子器件与技术研究所,天津,300071;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
铝诱导晶化; 多晶硅薄膜; 溶液法;

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