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外加磁场对碰撞射频鞘层离子能量分布的影响

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摘要

采用双流体模型,数值研究入射到射频鞘层偏压电极上的离子能量分布.研究结果表明:磁场在改变离子运动状态的同时,调控着基板上的离子能量分布,使之在垂直基板方向和平行基板方向间转移.

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来源
《物理学报》 |2009年第9期|6392-6396|共5页
作者
邹秀; 邹滨雁; 刘惠平;
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作者单位

大连交通大学理学院,大连,116028;

大连交通大学理学院,大连,116028;

大连交通大学理学院,大连,116028;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
等离子体; 射频; 鞘层; 磁场;

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