不同退火温度下氧化锌薄膜可见发光与n型导电研究

摘要

采用脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备出可见光发光良好的氧化锌薄膜,在不同的温度下进行了后退火处理.随着退火温度的升高,薄膜的可见光发光发生了显著改变,载流子浓度、迁移率、电阻率也呈现出一定的变化规律.结合X射线衍射、扫描电子显微镜、光致发光谱及霍尔测量,探讨了本征氧化锌薄膜可见光发光的发射机理,并分析了其n型导电的原因.