基于移相干涉技术的高精度活塞内径测量方法研究及测量系统研制

摘要

介绍了一种应用移相干涉法测量精密活塞内径的方法,并研制了高精度活塞内径测量仪.利用一等量块与平面平晶研合形成的标准具作为标准,采用白光干涉定位、激光干涉测长与移相干涉技术结合的位移测量技术方案实现了活塞内径的高精度非接触自动测量.实验结果表明,该仪器在(10～100)mm测量范围内,测量分辨率为1nm,测量结果的标准偏差不大于50nm.