AlNxOy/Al高温选择性吸收膜热发射率的研究

摘要

本文报道了用光照非稳态法对反应磁控溅射制备的AlN_xO_y-Al太阳能高温选择性吸收膜半球向全发射率ε的研究结果,给出了从60℃至310℃区间的半球向全发射率数据。