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【24h】

Adhesion Mechanism Between Laser Sputtered Materials, Copper and Aluminum on Silicon Substrate =Adh?sionsmechanismus zwischen lasergesputterten Materialien, Kupfer und Aluminium auf Silizium Substrat

机译:激光溅射材料,铜和铝对硅基板之间的粘附机理=硅衬底激光速度材料,铜和铝之间的粘合机制

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著录项

  • 作者

    Azhdast, Mohammad Hossein.;

  • 作者单位

    Technische Universitaet Berlin (Germany).;

  • 授予单位 Technische Universitaet Berlin (Germany).;
  • 学科
  • 学位 Eng.D.
  • 年度 2018
  • 页码 133 p.
  • 总页数 133
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

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