University of Michigan.;
Capacitive sensors; Kalman filter; Mems devices; Motion estimation;
机译:用于原位MEMS陀螺仪校准的微级的片上电容感测和倾斜运动估计
机译:用于具有垂直运动的平面MEMS结构的差分电容位置传感器
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机译:紧凑且高精度的RF MEMS电容系列器件
机译:使用电容传感器接口实时监视和表征RF MEMS开关和MEMS变容二极管。
机译:溅射封装作为可隔离MEMS器件的晶圆级封装:电容式加速度计上展示的一项技术
机译:基于间隙关闭MEMS器件的电容绝热逻辑
机译:mEms电容式悬臂应变传感器,器件和形成方法。