首页> 外文学位 >シリコン半導体に於ける高集積度素子分離特性の基板結晶性による制御に関する研究
【24h】

シリコン半導体に於ける高集積度素子分離特性の基板結晶性による制御に関する研究

机译:衬底结晶度控制硅半导体中高集成度器件隔离特性的研究

获取原文
获取原文并翻译 | 示例

著录项

  • 作者

    石神, 俊一郎;

  • 作者单位

    京都大学;

  • 授予单位 京都大学;
  • 学科
  • 学位 博士
  • 年度 1995
  • 页码 1-272
  • 总页数 272
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号