North Carolina State University.;
机译:纳米制造:通过大气压空间原子层沉积进行的高通量,高性价比的原子尺度薄膜沉积
机译:原子层沉积(ALD)反应堆设计和循环运行的动态建模
机译:基于模型的原子层沉积过程分析与设计方法论(第一部分:连续流反应器的力学建模)
机译:氧化物仪器弯曲反应器中氧化物,氮化物和金属氧化物,氮化物和金属的血浆增强原子层沉积方法的优化
机译:从新的工艺到行业相关应用:金属,金属氧化物和金属碳化物薄膜的原子层沉积
机译:用于热薄膜沉积过程诊断的光学可访问模块化反应器的设计和运行
机译:优化牛津仪器FlexAL反应器中的氧化物,氮化物和金属的等离子增强原子层沉积工艺