University of Florida.;
机译:纳米胶体二氧化铈浆料的化学机械抛光,用于介电膜的低损伤平面化
机译:二氧化铈浆料中磨料粒度和聚丙烯酸分子量对浅沟槽隔离化学机械平面化中SiO_2 / Si_3N_4薄膜去除选择性的影响
机译:二氧化铈浆料的煅烧和研磨工艺条件对浅道隔离化学机械抛光性能的影响
机译:二氧化铈浆料化学机械抛光的化学效应表征
机译:用于化学机械抛光的二氧化硅和二氧化铈纳米颗粒混合磨料浆料的胶体稳定性研究。
机译:化学机械平面化过程中浆料混合程度和可用性的浆料注入方案
机译:纳米复印件对浅沟槽隔离化学机械抛光的表面活性剂加入对烟雾二氧化硅和二氧化硅浆料的依赖性
机译:交货单0001:快速反应NDE和表征 - 化学蚀刻的化学效应对预检机械清洗对荧光渗透压疲劳裂纹指示的影响