North Carolina State University.;
机译:环戊二烯基和臭氧前体的原子层沉积法生长的锆和Ha氧化物高k栅极电介质的电性能
机译:通过远程等离子体原子层沉积作为高k电介质对二氧化ha薄膜进行快速热处理
机译:由具有或不具有嵌入式纳米晶体层的掺锆氧化thin高k介电薄膜制成的发光器件
机译:Sub 2 NM厚锆掺杂铪氧化物高k栅极电介质
机译:快速热CVD高k栅极电介质和CVD金属栅电极的技术开发和研究,用于未来的ULSI MOSFET器件集成:氧化锆和氧化ha。
机译:具有高k铪氧化物电介质的硅纳米线用于敏感检测小核酸低聚物
机译:纳米晶嵌入锆掺杂的氧化Ha高k栅介质膜