声明
致谢
摘要
1.1 研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.2.1 等离子体助燃作用机制研究进展
1.2.2 等离子体激励甲烷反应机理研究进展
1.2.3 理论模型及分析方法研究进展
1.2.4 研究成果小结及今后研究方向展望
1.3 本文研究目标及研究内容
2 动力学模拟方法
2.1 粒子寿命和不同反应时间尺度
2.2 反应机理的研究
2.3 碰撞截面的选取
2.4 热力学数据库
2.5 动力学反应模型
2.5.1 NSD激励甲烷离解和氧化的动力学模型
2.5.2 RF激励甲烷离解和氧化的动力学模型
2.6 路径通量分析
2.7 本章小结
3 NSD激励甲烷离解和氧化的动力学研究
3.1 连续脉冲放电动力学过程研究
3.1.1 求解电子能量分布函数
3.1.2 连续脉冲放电动力学过程
3.2 第一个脉冲动力学过程研究
3.2.1 温度和净热生成
3.2.2 粒子数密度变化
3.2.3 重要组分生成消耗贡献率
3.2.4 路径通量分析
3.3 稳定放电单脉冲动力学过程研究
3.3.1 温度和净热生成
3.3.2 粒子数密度变化
3.3.3 重要组分生成消耗贡献率
3.3.4 路径通量分析
3.4 影响NSD动力学过程的因素
3.4.1 约化电场的影响
3.4.2 气体压力的影响
3.4.3 气体温度的影响
3.5 本章小结
4 RF激励甲烷离解和氧化的动力学研究
4.1 射频放电动力学过程研究
4.1.1 求解电子能量损失分布
4.1.2 粒子摩尔分数变化
4.1.3 重要组分生成消耗贡献率
4.1.4 路径通量分析
4.2 实验及与模拟对比
4.2.1 射频放电实验平台
4.2.2 实验和模拟结果比较
4.3 NSD和RF激励甲烷反应动力学比较
4.3.1 两种放电方式及特点
4.3.2 两种放电方式下的作用路径比较
4.4 本章小结
5.1 全文总结
5.2 研究展望
参考文献
作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果
学位论文数据集