基于石墨烯/薄硅/石墨烯的波长探测器的研究

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致谢

第一章 绪论

1.1 波长探测器的研究背景和简介

1.2 波长探测器的应用

1.3 波长探测器的研究现状

1.4 本课题的意义和目的

第二章 基于薄硅的光吸收特性分析

2.1 基于TCAD的光吸收产生率和光生载流子产生率的定性分析

2.1.1 TCAD的介绍和优势

2.1.2 基于TCAD的光吸收产生率的定性分析

2.1.3 基于TCAD的光生载流子产生率的定性分析

2.2 基于TCAD的光吸收的定量分析和不同厚度薄硅光电流分析

2.2.1 基于TCAD的光吸收的定量分析

2.2.2 基于TCAD的不同厚度硅片光电流分析

2.3薄硅垂直堆叠器件中光电流对比的分析

2.4 本章小结

第三章 基于石墨烯/薄硅/石墨烯的光电探测器的制备及其光电性能分析

3.1 实验所用药品及设备介绍

3.1.1 实验所用药品介绍

3.1.2 实验所用设备介绍

3.2 基于石墨烯/薄硅/石墨烯光电探测器的制备与表征

3.2.1 基于石墨烯/薄硅/石墨烯光电探测器的制备

3.2.2 基于石墨烯/薄硅/石墨烯光电探测器的表征

3.3 基于石墨烯/薄硅/石墨烯光电探测器的性能表征

3.4 本章小结

第四章 基于石墨烯/薄硅/石墨烯的波长探测器光电性能分析

4.1 波长探测器的制备

4.2 偏压对波长探测器的影响

4.3对于不同光强，光电流比值和波长的单调关系

4.4 本章小结

第五章 总结和展望

5.1 本文研究内容与结论

5.2 未来展望

参考文献

攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况