小口径自由曲面光学元件的补偿加工技术

目录

摘要

1绪论

1．1课题背景

1．2自由曲面光学元件加工现状

1．3课题的主要工作

1．3．1课题的主要目的与内容

1．3．2课题的方案与研究路线

1．4论文的章节安排

1．5本章小结

2自由曲面光学元件的超精密加工技术

2．1自由曲面光学元件的超精密加工概述

2．1．1自由曲面光学元件的数学描述方式

2．1．2单点金刚石加工技术

2．1．3慢刀伺服加工自由曲面技术

2．2自由曲面面形参数对金刚石刀具参数的约束

2．3慢刀伺服车削加工参数的选择

2．3．1设备加工能力对加工参数选择的约束

2．3．2加工参数对加工表面质量的影响

2．4加工轨迹规划与分析

2．5加工辅助程序

2．5．1加工辅助程序编写

2．5．2课题待加工面形仿真计算

2．6本章小结

3小口径自由曲面光学元件的面形检测技术

3．1自由曲面光学元件面形检测概述

3．2面形误差检测原理

3．3表面形貌检测

3．4检测数据处理

3．4．1面形匹配

3．4．2面形误差求解

3．5数据处理程序编写以及仿真验证

3．6本章小结

4自由曲面光学元件的补偿加工技术

4．1超精密加工误差源分析

4．1．1对刀误差分析

4．1．2主轴平衡对面形误差的影响

4．1．3跟踪误差分析

4．2非实时补偿加工原理

4．2．1回转对称曲面的补偿加工

4．2．2非回转对称曲面的补偿加工

4．3本章小结

5小口径自由曲面光学元件加工实验

5．1小口径自由曲面光学元件加工实验

5．2实验结果

5．2．1样件1加工结果

5．2．2样件2加工结果

5．3实验加工结果分析

5．4本章小结

6结论与展望

6．1结论

6．2存在的问题及展望

参考文献

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

致谢

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