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摘要
第1章 绪论
1.1.1.等离子体简介
1.1.2.研究意义和目的
1.2 国内外研究现状
1.2.1.ICP电感模式E-H研究现状
1.2.2.混合放电研究现状
1.2.3.双层结构及其在空间环境和推进器方面应用研究进展
1.3 本论文主要内容
第2章 低温等离子体放电与诊断方法
2.1 低温等离子体放电源
2.1.1.直流放电
2.1.2.介质阻挡放电
2.1.3.射频等离子体放电
2.1.4.微波放电和电子回旋共振放电
2.2 本论文所采用的诊断方法
2.2.1.微波法诊断
2.2.2.光谱法诊断
2.2.3.静电探针诊断
第3章 射频电感耦合等离子体模式转变特性的实验研究
3.1 射频电感耦合放电模式转变和滞回线效应
3.1.1.ICP模式转变的放电理论机制
3.1.2.ICP放电的功率传输
3.1.3.能量守恒方程和滞回线效应
3.2 ICP放电实验装置和诊断设备
3.2.1.实验装置
3.2.2.诊断设备
3.3 实验结果与讨论
3.3.1.电容耦合占主导地位功率点的讨论
3.3.2.电感耦合占主导地位功率点的讨论
3.3.3.E-H模式的转变密度
3.3.4.H-E模式的转变密度
3.3.5.光谱测量分析讨论
3.3.6.7 50.4nm谱线(高能电子密度)实验结果
3.3.7.8 11.5/750.4(亚稳态原子密度)实验结果
3.3.8.8 11.5nm和750.4nm谱线实验结果对比
3.3.9.模式转变前后谱线测量结果
3.4 小结
第4章 电极位型和放电介质对ICP模式转变影响的实验研究
4.1 氩气和汞蒸气混合放电
4.2 氩汞混合放电实验设计
4.3 氩汞混合放电实验结果与讨论
4.3.1.电子密度结果
4.3.2.模式转变规律
4.3.3.实验结果讨论
4.4 电子加热的非局域性
4.5 电子加热非局域性实验结果与讨论
4.5.1.电极匝数相同而间隔不同
4.5.2.转变功率与电极高度、匝数的关系
4.5.3.辅助电极放电
4.6 小结
第5章 磁膨胀等离子体中双层结构的实验研究
5.1 磁膨胀等离子体DL结构理论
5.2 实验装置和设计
5.2.1.WVU HELIX-LEIA系统
5.2.2.双层结构诊断系统
5.3 实验结果与讨论
5.3.1.IVDF分布
5.3.2.二维IDVF分布
5.3.3.电势结构分布
5.3.4.频谱分析
5.3.5.DL结构物理描述
5.4 小结
第6章 总结与展望
6.1 研究内容总结与创新点
6.1.1.ICP放电中的模式转变
6.1.2.磁膨胀等离子体双层结构
6.1.3.论文的主要创新点
6.2 未来工作展望
参考文献
附录
致谢
在读期间发表的学术论文与取得的研究成果