一种Pt薄膜微加热器的设计加工和沸腾特性研究

目录

声明

第1章 绪论

1.1 微尺度的传热

1.2 MEMS技术

1.3 课题研究背景

1.4 课题意义

1.5 本文研究内容

第2章 一种微加热器的设计及其温升特性

2.1 微加热器的设计目的

2.2 Pt薄膜微加热器的工作原理及特点

2.3 Pt薄膜微加热器的选材

2.4 微加热器的结构设计

2.5 微加热器温度场的仿真模拟

2.6 本章小结

第3章 微加热器的加工

3.1 MEMS加工工艺简介

3.2 Pt薄膜微加热器的制备

3.3 本章小结

第4章 实验系统及方法

4.1 实验装置及系统

4.2 实验段

4.3 数据处理及误差分析

4.4 本章小结

第5章 微加热器上的沸腾现象及气泡动力学

5.1 微气泡成核的可视化

5.2 微气泡动力学行为分析

5.3 微气泡生成的起始电压功率分析

5.4 实验验证模拟

5.5 本章小结

第6章 总结与展望

6.1 论文总结

6.2 论文展望

参考文献

攻读硕士期间已发表的论文

致谢