安徽省真空计量站建设与宽量真空计研制

摘要

真空计量器具广泛应用于工业加工和科学实验领域，其种类繁多，样式各异。由于使用中的真空计大多数都是间接测量真空度的，因此需要对这些真空计进行校准，以检定其是否能准确显示。安徽省真空计量站的建立不仅可以满足学校自身科学研究的需求，还可以为邻近的华东、华中真空相关企业提供良好的服务平台。本文主要介绍安徽省真空计量站建设的前期准备工作，内容包括计量站仪器更新、系统搭建、系统预抽、系统检漏、真空室烘烤等。通过电容薄膜规比对实验、副标准真空计比对实验和静态膨胀法实验，在104～10-4Pa范围内对待校准真空计进行了宽量程校准，从而从硬件构建和软件调试两方面保证系统具备真空校准检定能力。
　　 真空传感器都有测量上、下限，而实际应用中可能需要从大气压一直测到高真空，因此，宽量程真空计一直是研究开发的热点。本文研制了一种采用热偶规和电离规复合形式的宽量程真空计，低真空、高真空信号分别由热偶规、电离规采集，真空规及其量程切换由电控处理系统自动完成，可测真空范围为105～10-5Pa。电控处理系统由飞思卡尔MC9S12系列16位单片机MC9S12DG128为主干搭建。真空规输出的微小采样信号经放大电路和A/D转换后输入单片机，通过数据的分析判断，电控系统自动切换传感器、量程，并将数据转换成显示码，在LED数码管或LCD液晶显示板上显示。论文最后对真空计的发展趋势做了一定的展望。