渥拉斯顿棱镜移动式激光单频干涉直线度及位移同时测量方法研究

目录

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摘要

1．1论文的研究背景及意义

1．2直线度测量方法国内外研究现状

1．2．1激光准直直线度测量方法

1．2．2激光干涉直线度测量方法

1．2．3直线度测量方法国内外研究现状小结

1．3论文的研究内容及组织结构

第二章激光单频干涉直线度及位移同时测量方法研究

2．1激光单频偏振干涉测量原理

2．2激光单频干涉直线度及位移同时测量光路设计

2．3激光单频干涉直线度及位移同时测量模型及测量原理

2．3．1位移测量原理

2．3．2垂直直线度误差测量原理

2．4渥拉斯顿棱镜旋转角度误差模型分析

2．5本章小结

第三章激光单频干涉直线度及位移同时测量信号处理系统设计

3．1基于EOM的PGC调制解调相位检测原理

3．1．1正弦相位调制解调测量原理

3．1．2正弦加三角波复合相位调制解调测量原理

3．2激光单频干涉信号处理系统总体方案设计

3．3基于FPGA的激光单频干涉信号处理系统硬件设计

3．3．1调制信号生成模块

3．3．2载波相位延迟补偿模块

3．3．3数字低通滤波器模块

3．3．4椭圆拟合模块

3．3．5 CORDIC反正切计算模块

3．4基于LabVIEW的激光单频干涉信号处理系统软件设计

3．4．1数据通信模块

3．4．2主界面区块

3．4．3导轨监视控制区块

3．4．4 Renishaw对比干涉仪测量区块

3．4．5测量干涉信号修整及效果显示区块

3．4．6基于LabVIEW的上位机控制软件使用流程

3．5本章小结

第四章实验结果以及分析

4．1可行性验证实验

4．1．1垂直直线度误差测量可行性验证实验

4．1．2线性位移测量可行性验证实验

4．1．3可行性验证实验小结

4．2渥拉斯顿棱镜旋转角度误差模型验证实验

4．2．1偏摆角影响验证实验

4．2．2滚转角影响验证实验

4．2．3俯仰角影响验证实验

4．2．4渥拉斯顿棱镜旋转角度误差模型验证实验小结

4．3应用性验证实验

4．3．1垂直直线度误差比对测量实验

4．3．2线性位移比对测量实验

4．3．3应用性验证实验小结

4．4本章小结

5．1论文总结

5．2主要创新点

5．3展望

参考文献

攻读学位期间的研究成果

致谢