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致谢
摘要
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第一章 绪论
1.1 世界能源的现状和未来的发展趋势
1.2 世界核磁约束聚变研究的发展
1.3 EAST超导托卡马克
1.4 EAST对未来聚变堆的可能贡献
1.5 课题研究内容与论文结构
第二章 MEMS磁场传感器概述
2.1 微机电系统(MEMS)简介
2.2 MEMS磁场传感器的发展
2.3 MEMS磁场传感器研究现状
2.3.1 MEMS压阻式磁场传感器
2.3.2 MEMS谐振式磁场传感器
2.3.3 MEMS扭摆式磁场传感器
2.4 本章总结
第三章 托卡马克磁约束原理
3.1 磁约束位形
3.1.1 环形位形的简单模型
3.1.2 仿星器位形
3.2 托卡马克平衡位形的基本特征
3.2.1 静磁平衡近似及其性质
3.2.2 Grand-Shafranov方程
3.2.3 等离子体的环向电流的驱动
3.2.4 托卡马克中带电粒子的漂移运动与自举电流
3.3 本章小结
第四章 EAST真空室内磁场模型的建立与验证
4.1 EAST装置简介
4.2 毕奥-萨伐尔定律(Biot-Savart Law)
4.3 内部磁场的建立
4.4 模型的验证与误差分析
4.5 误差分析
4.6 本章小结
第五章 强磁场MEMS磁场传感器的结构设计
5.1 MEMS强磁场传感器设计
5.2 MEMS磁场传感器理论模型的设计
5.3 MEMS强磁场传感器实验仿真
5.3.1 模态分析
5.3.2 应力分析
5.4 本章总结
第六章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
参考文献
攻读硕士期间的学术活动及成果情况