侧壁长周期光栅辅助的可调谐铌酸锂波导定向耦合器研究

目录

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第一章绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 光栅辅助定向耦合器的发展与现状

1.3 本文的研究内容与结构安排

第二章侧壁LPGA 铌酸锂波导定向耦合器的基本原理

2.1 铌酸锂晶体的电光效应

2.2 侧壁 LPGA 定向耦合器的耦合模分析

2.1.1 对称定向耦合器

2.1.1 光栅辅助定向耦合器

第三章器件的结构设计与仿真

3.1 设计目标

3.2 铌酸锂波导的分析与设计

3.3 器件结构参数设计与仿真

3.3.1 铌酸锂波导模式折射率测量

3.3.2 长周期光栅结构参数

3.3.3 器件的仿真

3.4 光谱特性分析及器件参数汇总

3.4.1 光栅周期对光谱特性的影响

3.4.2 光栅深度对光谱特性的影响

3.4.3 器件参数汇总

3.5 本章小结

第四章器件的制作

4.1 掩膜版的设计

4.2 器件的制作

1. 铌酸锂晶圆切片

2. 清洗基片

3. 溅射阻挡层

4. 旋涂光刻

5. 显影腐蚀

6. 退火质子交换

7. 端面抛光

8. 电极的制作

4.3 本章小结

第五章器件的测试

5.1 测试平台简介

5.2 器件的通光测试

5.3 器件的光谱响应

S1 器件测试结果

S2 器件测试结果

S3 器件测试结果

5.4 器件的电调谐特性

5.5 本章总结

第六章总结与展望

6.1总结

6.2 展望

致谢

参考文献

硕士研究生期间取得的研究成果