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【6h】

高功率砷化镓光电导开关的丝状电流现象和机理研究

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1前言

1.1研究非线性模式下丝状电流的背景和意义

1.1.1研究背景

1.1.2研究意义

1.2光电导开关材料和结构

1.2.1半绝缘砷化镓材料性质

1.2.2光电导开关的结构

1.3砷化镓光电导开关的工作原理与工作模式

1.3.1砷化镓光电导开关的工作原理

1.3.2砷化镓光电导开关的工作模式

1.4丝状电流现象的理论与研究进展

1.4.1丝状电流的研究进展

1.4.2丝状电流现象的理论研究

1.5本文主要研究内容

1.6本章小结

2非线性模式下丝状电流的机理研究

2.1不同介质中的放电通道

2.1.1气体中的放电通道

2.1.2液体中的放电通道

2.1.3半导体中的放电通道

2.2丝状电流特性实验研究

2.2.1实验装置

2.2.2砷化镓光电导开关

2.2.3砷化镓光电导开关瞬态性能测试实验电

2.2.4实验结果

2.2.5实验分析

2.3非线性模式下砷化镓光电导开关的流注模型

2.3.1流注的产生

2.3.2流注的发展

2.3.3流注的贯穿

2.4丝状电流特性分析

2.4.1丝状电流的速度

2.4.2丝状电流成丝机理

2.5本章小结

3丝状电流对砷化镓材料特性的影响

3.1丝状电流对砷化镓材料特性影响的实验研究

3.1.1实验装置

3.1.2丝状电流对砷化镓材料特性影响的测试实验

3.1.3实验结果

3.2砷化镓材料的补偿机制

3.3缺陷EL2能级的特性

3.3.1 EL2结构模型

3.3.2 EL2亚稳态特性

3.3.3 EL2浓度与半绝缘特性

3.4实验结果分析

3.4.1开关多次触发后电阻变化分析

3.4.2开关性能降低分析

3.4.3开关损坏后电阻变化分析

3.5本章小结

4丝状电流引起的闪络现象研究

4.1半导体沿面闪络现象

4.1.1光电导开关的闪络现象

4.1.2沿面闪络基本理论

4.2丝状电流引起的闪络现象的实验研究

4.2.1实验装置

4.2.2触发下砷化镓光电导开关的沿面闪络实验

4.2.3测试结果

4.3小电流下丝状电流引起沿面闪络机理分析

4.3.1沿面闪络发展过程

4.3.2闪络光谱分析

4.3.3非线性模式下沿面闪络机理分析

4.4大电流下沿面闪络的分析

4.4.1大电流下沿面闪络输出电脉冲分析

4.4.2等离子体箍缩效应

4.4.3沿面闪络时域波形分析

4.5沿面闪络损伤分析

4.5.1小电流下闪络造成损伤分析

4.5.2大电流下闪络造成损伤分析

4.6本章小结

5丝状电流引起砷化镓光电导开关损坏机理研究

5.1固体介质击穿现象

5.1.1固体击穿的基本类型

5.1.2固体击穿的理论

5.2砷化镓光电导开关损坏实验研究

5.2.1实验装置

5.2.2砷化镓光电导开关损坏实验

5.2.3测试结果

5.3砷化镓光电导开关损坏机理研究

5.3.1低电流下开关损坏机理

5.3.2大电流下开关损坏机理

5.4本章小结

6全文总结

6.1工作总结

6.2本文创新点

6.3未来工作展望

致谢

参考文献

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著录项

  • 作者

    马成;

  • 作者单位

    西安理工大学;

  • 授予单位 西安理工大学;
  • 学科 微电子学与固体电子学
  • 授予学位 博士
  • 导师姓名 施卫;
  • 年度 2014
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 TN3TN9;
  • 关键词

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