用于虹膜识别的低角度效应带通滤光片的研制

目录

声明

第1章 绪 论

1.1 研究背景及意义

1.2 低角度效应薄膜研究现状

1.2.1 国外研究现状

1.2.2 国内研究现状

1.3 薄膜制备技术发展现状

1.3.1 物理气相沉积

1.3.2 化学气相沉积

1.3.3 薄膜制备方法比较

1.4 本课题研究内容

第2章 薄膜材料选择及其工艺的研究

2.1 薄膜材料的选择

2.2 色散模型的选择

2.3 薄膜材料工艺的研究

2.3.1 a-Si:H薄膜工艺的研究

2.3.2 Si3N4薄膜工艺的研究

2.3.3 SiO2薄膜工艺的研究

2.4 本章小结

第3章 光学薄膜理论及膜系设计

3.1 预期目标和设计方案

1) 预期目标

2) 设计方案

3.2 光学薄膜的基础理论

3.3 带通滤光片

3.3.1 法布里-珀珞滤光膜

3.3.2 带通滤光片的斜入射效应

3.4 干涉截止滤光膜

3.5 膜系设计

3.5.1 前表面膜系设计

3.5.2 后表面膜系设计

3.6 膜系评价

3.7 本章小结

第4章 薄膜的制备、检测与差异分析

4.1 OptoRun反应磁控溅射设备简介

4.2 溅射技术和辅助沉积技术

4.2.1中频孪生靶反应磁控溅射技术

4.2.2 等离子体辅助沉积

4.3 滤光片的制备参数

4.3.1 真空度

4.3.2 沉积工艺参数

4.3.3 沉积速率

4.3.4 沉积时间

4.4工艺流程

1) 基底的清洁

2) 镀前准备工作

3) 抽真空

4) ICP预清洁

5) 自动成膜

4.5 薄膜的光谱特性检测与分析

4.6 环境测试

4.7 本章小结

第5章 结论与展望

5.1 结论及创新点

1) 主要工作总结

2) 创新点

5.2 不足与展望

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果

致 谢