FeN外延薄膜的制备、结构和物性研究

目录

声明

1 绪 论

1.1 富铁相-FeNx (x＜1)的研究进展和现状

1.2 富氮相-FeNx (x＝1)的研究进展和现状

1.2.1 γ″-FeN相的研究进展和现状

1.2.2 γ(′″)-FeN相的研究进展和现状

1.2.3 其它FeN相的研究进展和现状

1.2.4 测定FeN相结构的常用实验手段

1.3 富氮相-FeNx (x＞1)的研究进展和现状

1.4 选题依据和研究内容

2 实验方法及表征

2.1 磁控溅射技术

2.2 薄膜样品的制备

2.3 薄膜样品的表征

2.3.1 X射线衍射技术

2.3.3 原子力显微镜

2.3.4 扫描电子显微镜

2.3.5 透射电子显微镜

2.3.6 磁性测量系统

2.3.7 物理性质测量系统

3 FeN相最佳工艺条件的探索

3.1 引言

3.2 实验参数的调控

3.2.1 溅射气压的调控

3.2.2 溅射气体的比例调控

3.2.3 衬底温度的调控

3.3 FeN外延薄膜的制备

3.4 本章小结

4 FeN外延薄膜的相结构和电输运性质的研究

4.1 引言

4.2 实验制备

4.3 测试结果与分析

4.3.1 FeN薄膜的相结构测定

4.3.2 N∶Fe相对原子比例的测定

4.3.3 FeN薄膜的形貌特性

4.3.4 FeN薄膜的微观结构

4.3.5 FeN薄膜的磁性研究

4.3.6 FeN薄膜的电输运性质研究

4.4 本章小结

5 总 结

5.1 结论

5.2 此工作的创新点

5.3 工作展望

参考文献

致谢

攻读学位期间取得的科研成果清单