声明
第一章 绪 论
1.1 研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.3 本论文主要工作及安排
1.4 小结
第二章 基于LTPS的AMOLED工艺概述和检测理论
2.1 多晶硅薄膜的制备工艺
2.2 多晶硅薄膜的制备流程
2.3 电学特性缺陷控制技术
2.4 光学特性缺陷控制技术
2.5 小结
第三章 u-PCR检测系统设计与验证
3.1 低温多晶硅薄膜使用u-PCR的测试原理
3.2 实验装置的搭建
3.3 u-PCR检测仪器设计和实验结果
3.4 小结
第四章 Line Mura检测系统设计与验证
4.1 Mura 缺陷特征及检测中的难点
4.2 Line Mura检测系统设计方案
4.3 Line Mura检测仪器的设计和实验结果
4.4 小结
第五章 u-PCR及Line Mura技术应用的实验验证
5.1 全自动ELA 工艺评价机制
5.2 全自动ELA 工艺评价机制的应用验证
5.3 多晶硅薄膜质量与u-PCR的验证关系
5.4 多晶硅薄膜质量与Line Mura 的验证关系
5.5 小结
第六章 结 论
6.1 本文主要工作及总结
6.2 下一步工作的展望
致谢
参考文献
电子科技大学;
