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缩略语对照表
第一章绪论
1.1功率半导体器件的发展
1.2论文研究背景与意义
1.3本文主要内容
第二章纵向功率MOS器件与器件仿真工具
2.1 VDMOS器件
2.2超结VDMOS器件
2.3高K介质
2.4器件仿真工具与仿真方法简介
2.5本章小结
第三章具有多数载流子积累新型UMOS设计
3.1 MCA-UMOS器件结构与工作机理
3.2 MCA-UMOS参数优化
3.3 MCA-UMOS制备工艺
3.4本章小结
第四章具有高K介质多数载流子积累新型UMOS
4.1 HK MCA-UMOS器件结构与工作机理
4.2 HK MCA-UMOS参数优化
4.3高K介质的有关工艺
4.4本章小结
第五章结论
5.1工作总结
5.2研究展望
参考文献
致谢
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