声明
第一章 绪论
1.1 黑硅材料发展历程
1.2 飞秒激光对晶体硅材料的重掺杂
1.3 飞秒激光在不同背景气氛下制备黑硅材料
1.4 黑硅光电器件的研究现状
1.5 本文的主要工作
第二章 飞秒激光制备重掺杂黑硅材料
2.1 飞秒激光制备黑硅材料
2.2 黑硅表面形貌表征
2.3 黑硅吸收特性分析
2.4 霍尔测试
2.5 本章小结
第三章 替位式重掺杂硅的第一性原理仿真
3.1 第一性原理仿真计算
3.2 Material studio软件仿真设计
3.3 基于第一性原理的单晶硅掺杂仿真
3.4 本章小结
第四章 重掺杂近红外增强型硅光电探测器
4.1 基于黑硅的PIN光电二极管
4.2 S原子重掺杂对器件近红外响应度的影响
4.3 Silvaco软件对重掺杂PIN器件的验证性仿真
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
致谢
参考文献
硕士期间取得成果