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第一章绪论
1.1引言
1.2光开关种类
1.3微机械光开关
1.3.1 MEMS技术简介
1.3.2 MEMS光开关分类
1.3.3光纤开关阵列的最新进展
1.4微机械式光开关的选择
1.5本论文研究意义及内容
参考文献:
第二章微机械光开关的结构原理及设计
2.1悬臂梁的简谐振动分析
2.2微机械器件静电驱动分析
2.3梁加质量块静电驱动行为研究
2.4静电驱动光开关结构设计
2.5小结
参考文献:
第三章微机械光开关的工艺制作
3.1微机械加工工艺
3.2微镜的腐蚀制作
3.3光开关工艺流程
3.4工艺监控方法
3.5制作过程的问题及工艺改进
3.6小结
参考文献
第四章光纤与光波导端面耦合研究
4.1光纤与波导端面耦合损耗分析
4.2光纤与光波导端面耦合的方法
4.3小结
参考文献:
第五章微机械光开关的光路耦合初步实现
5.1光纤对接耦合
5.2微镜厚度与光路、光纤的关系
5.3本光开关耦合试验
5.4光开关封装的发展
5.5小结
参考文献:
总结
致谢