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第一章绪论
第二章文献综述
2.1反射式光寻址液晶光阀
2.2液晶光阀的结构和工作原理
2.3液晶光阀的应用
2.3.1非相干光转换成相干光
2.3.2实时光学相关
2.3.3实时图像相减
2.3.4光计算
2.4非晶硅薄膜
2.4.1非晶硅薄膜的结构
2.4.2 PECVD法制备a-Si：H薄膜的生长机制
2.4.3光导层中载流子的横向扩散与光阀分辨率的关系
2.4.4柱状结构复合薄膜对液晶光阀分辨率的影响
2.4.5金属诱导a-Si：H制备多晶硅复合薄膜
2.5本论文的研究目的与意义
第三章实验过程
3.1实验设备
3.1.1真空热蒸发实验设备
3.1.2光导层复合薄膜沉积实验设备
3.1.3旋涂镀膜设备
3.2实验材料
3.2.1薄膜制备用原材料
3.2.2基板材料
3.2.3其它实验材料
3.3测试方法
3.3.1膜厚测试
3.3.2X射线衍射
3.3.3扫描电镜(SEM)
3.3.4高分辨透射电镜(HRTEM)
3.3.5薄膜电导率测试
3.3.6紫外可见光光谱测试(UV)
3.3.7原子力显微镜(AFM)
3.3.8反射透射比性能测试
3.4液晶光阀的制备
3.4.1基板的清洗
3.4.2 CdTe阻光膜的制备
3.4.3 ZnS/MgF2介质镜的制备
3.4.4 Al/a-Si：H光导层复合薄膜的沉积
3.4.5聚酰亚胺定向膜的制备
3.4.6液晶光阀器件的制备
第四章非晶硅/纳米硅复合柱状结构光导层光电性能研究
4.1柱状复合薄膜的结构与性能研究基础
4.1.1柱状复合薄膜对光阀光导层分辨率的影响的理论分析
4.1.2柱状复合光导膜的实验研究基础
4.2光导层薄膜的光电性能研究
4.3小结
第五章阻光层和介质镜层的制备工艺研究
5.1阻光层的光学特性研究
5.2 ZnS/MgF2复合膜的光学性能研究
5.2.1 ZnS/MgF2复合膜的反射特性测试分析
5.2.2 ZnS/MgF2复合膜的U-V光谱测试分析
5.3 ZnS/MgF2复合膜的结构性能分析
5.3.1 ZnS/MgF2复合膜的XRD测试
5.3.2 ZnS/MgF2复合膜的原子力显微镜测试分析
5.3.3 ZnS/MgF2复合膜的扫描电镜分析
5.4实验中存在的问题及其解决
5.5小结
第六章定向层和液晶层的制备工艺研究
6.1聚酰亚胺涂覆工艺研究
6.2聚酰亚胺薄膜的固化性能研究
6.3聚酰亚胺薄膜摩擦性能研究
6.4液晶层调制性能研究
6.5小结
第七章液晶光阀器件性能测试
7.1液晶光阀及测试系统
7.2液晶光阀的输出特性测试
7.4小结
第八章结论
参考文献
硕士研究生学习阶段已录用及已投稿论文
致谢
