磁控溅射MoS/MoS-Mo纳米多层复合薄膜的环境摩擦磨损性能

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本文以金属表面低摩擦和高耐磨性的复合薄膜材料为应用背景，对MoSx/MoSx-Mo纳米多层复合薄膜的沉积制备工艺、组织结构及摩擦磨损性能进行了研究。文章主要探讨了溅射气压和MoSx-Mo层中不同的Mo含量对MoSx/MoSx-Mo纳米多层复合薄膜形、微观组织、结构成分和摩擦磨损性能的影响，以寻求最佳的薄膜制备工艺参数，满足MoS2类薄膜在真空和潮湿环境下的应用要求。

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作者
陈利明;
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作者单位

浙江大学;

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授予单位浙江大学;
学科材料学
授予学位硕士
导师姓名涂江平;
年度 2006
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原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类薄膜的性质;溅射;
关键词
纳米薄膜; 二硫化钼; 薄膜制备; 磁控溅射;

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