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致谢
1 绪论
1.1引言
1.2阵列波导光栅
1.3光纤到户接入网和Triplexer
1.4本论文的章节安排
1.5本论文的主要创新点
2 光波导基本理论
2.1平板波导的本征方程
2.2条形波导的近似求解
2.3数值模拟方法
3 制作工艺研究
3.1波导材料和波导结构
3.2平面光波导制作工艺流程
3.3薄膜沉积工艺
3.4光刻工艺
3.5刻蚀工艺
4 基于阵列波导光栅的单纤三向波分复用器
4.1研究背景
4.2基于cross-order型AWG的Triplexer
4.3器件性能测试
4.4总结与讨论
5 新型集成化偏振非敏感阵列波导光栅
5.1研究背景
5.2新型偏振非敏感的AWG
5.3器件性能测试
5.4总结与讨论
6 总结与展望
参考文献
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