声明
摘要
第1章 绪论
1.1.平面波导技术概述
1.2.硅基光子学的发展
1.2.1.硅基光子学在光互连领域的应用
1.2.2.硅基光子学在光传感领域的应用
1.3.本论文的意义和工作
参考文献
第2章 基于微环的硅光子基本功能结构
2.1.微环谐振腔概述
2.1.1.平面光波导概述
2.1.2.微环谐振腔基本结构
2.1.3.转移矩阵法
2.1.4.微环谐振腔的主要性能参数
2.1.5.微环谐振腔损耗的分析
2.1.6.耦合系数的计算
2.2.微环谐振腔的可调特性
2.2.1.热光调谐
2.2.2.等离子体色散调谐
2.3.耦合光栅的设计和制作
2.3.1.耦合光栅的设计
2.3.2.耦合光栅的制作和测试
2.4.小结
参考文献
第3章 基于微环结构的可重构光学链路
3.1.引言
3.2.器件的设计与制作
3.2.1.波导结构的设计
3.2.2.微环调制器的设计
3.2.3.微环滤波器的设计
3.2.4.二阶串联微环上下路滤波器的设计
3.2.5.热光和电光电极的设计
3.3.器件的制作
3.3.1.版图的设计
3.3.2.器件制作的工艺流程
3.4.基于微环的可重构光学链路芯片的测试
3.5.小结
参考文献
第4章 基于微环结构的集成光学传感器
4.1.引言
4.2.微环传感器概述
4.2.1.微环传感器的灵敏度
4.2.2.微环传感器的分辨率
4.3.全通滤波型硅基微环传感器的制作和测试
4.3.1.全通滤波型硅基微环传感器的制作
4.3.2.全通滤波型硅基微环传感器的测试
4.4.眼型嵌套微环传感器
4.4.1.眼型嵌套微环结构的理论模型
4.4.2.眼型嵌套微环传感器的制作和测试
4.4.3.讨论
4.4.4.眼型嵌套微环温度传感实验
4.5.小结
参考文献
第5章 用于波长调制型传感的微环解调器
5.1.引言
5.2.用于波长移动型传感的微环解调器的工作原理
5.3.对光纤布拉格光栅温度传感器的解调
5.3.1.光纤布拉格光栅温度传感器特性测试
5.3.2.热光可调微环滤波器的制作
5.3.3.热光可调微环滤波器的测试
5.3.4.对FBG温度传感器的解调测试
5.3.5.讨论
5.4.对片上集成传感器的解调
5.5.小结
参考文献
第6章 总结与展望
6.1.总结
6.2.存在的不足与展望
攻读博士学位期间主要的研究成果
致谢