封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章 绪 论
1.1 研究背景与意义
1.2 国内外研究现状
1.3 研究任务和本文结构
第二章 基于半导体行业的设备维护技能提高及评估分析与研究
2.1 半导体设备维护概述
2.2 EMC提高的系统基本构架分析
2.3 国内外EMC提高及MCES现状分析
2.4 新型半导体设备维护技能提高及评估系统的提出与系统构架
第三章 EMC提高及MCES系统构架
3.1 新型员工技能培训的具体实现
3.2 其他常见的培训方法
3.3 知识管理系统模块
3.4 MEPT系统模块
3.5 本章小结
第四章 MCES系统中ES模块的设计与开发实现
4.1 功能需求分析及设计
4.2 模块开发平台和开发工具以及开发模型介绍
4.3 知识管理模块中各模块分析以及实现
4.4 知识管理模块验证测试
4.5 知识管理模块总结展望
第五章 MCES系统中MEPT模块的设计与实现
5.1 MEPT系统功能需求分析以及系统开发环境分析
5.2 MEPT模块分析设计和实现
5.3 MEPT模块测试
5.4 本章小结
第六章 MCES的建立与实现
6.1 培训评估目的
6.2 设备MA-COV 性能指标评估体系设计
6.3 基于ES系统的评估体系设计及应用
6.4 本章小结
第七章 结论与展望
7.1 结论
7.2 展望
致谢
参考文献