摘要
第一章 引言
§1.1 课题研究背景及意义
§1.2 本论文的结构安排
第二章 实验仪器原理与方法
§2.1 原子力显微镜(AFM)
§2.2 导电原子力显微镜(CAFM)
§2.3 扫描开尔文显微镜(SKM)
§2.4 扫描电容显微镜(SCM)
第三章 GeSi量子环的组分分布研究
§3.1 研究背景及意义
§3.2 样品制备和实验过程
§3.3 GeSi量子环的组分分布
§3.4 小结
第四章 GeSi量子环的导电性质研究
§4.1 引言
§4.2 实验
§4.3 GeSi量子环的CAFM结果与讨论
§4.4 小结
第五章 GeSi量子环的表面电势分布及载流子浓度分布研究
§5.1 引言
§5.2 实验过程简介
§5.3 量子环的SKM结果与SCM结果及讨论
§5.4 小结
第六章 GeSi量子点的组分分布研究
§6.1 引言
§6.2 样品准备与测试
§6.3 不同温度下的GeSi量子点的组分分布
§6.4 小结
第七章 总结与展望
参考文献
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致谢
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