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第一章绪论
第二章电迁移噪声理论基础
§2.1电迁移简介
2.1.1电迁移现象
2.1.2电迁移寿命的表达式
2.1.3电迁移微观机理
2.1.4影响电迁移的因素
§2.2电迁移评估方法
§2.3噪声检测技术的理论基础
2.3.1噪声的数学基础
2.3.2噪声分类与1/f噪声
第三章电迁移噪声检测方法研究
§3.1测试硬件系统的设计与实现
3.1.1系统概述
3.1.2样品
3.1.3偏置
3.1.4耦合
3.1.5放大
3.1.6采集
§3.2测试软件系统的设计与实现
3.2.1传输函数
3.2.2数据前期处理
§3.3测试系统的使用
3.3.1系统工作状态选择及仪器保护
3.3.2系统抗干扰措施
3.3.3测试系统使用方法
第四章电迁移过程中的噪声测量结果与分析、讨论
§4.1加速寿命实验方案设计
4.1.1应力条件
4.1.2 R-T关系
4.1.3实验仪器及样品
4.1.4实验线路
§4.2噪声测量与数据处理流程
4.2.1测试条件
4.2.2实验步骤
4.2.3数据拟合和参数提取
§4.3结果分析与讨论
4.3.1电阻变化规律
4.3.2噪声变化规律
4.3.3对比分析与讨论
第五章结论与展望
§5.1论文成果
§5.2测试系统改进思路
§5.3需继续研究的方向
§5.4展望
致谢
参考文献
在研期间研究成果
附录