声明
摘要
第1章绪论
1．1课题的背景及意义
1．2国内外研究现状
1．2．1非光滑表面加工制造研究概况
1．2．2工程化砂轮磨削规则表面研究
1．2．3磨粒有序化排布发展现状
1．3课题的来源及意义
1．3．1课题的来源
1．3．2课题研究的意义
1．4课题研究的主要内容概述
第2章工程化砂轮磨削规则表面的运动学研究
2．1磨削加工运动轨迹方程的建立
2．1．1叶序排布砂轮与磨粒排布方程
2．1．2磨粒轮廓点位置方程
2．1．3磨粒磨削运动轨迹方程
2．2实现凹坑与沟槽表面磨削的运动学条件
2．3结构化表面形貌仿真策略与基本条件
2．4仿真结果与分析
2．4．1排布方式的影响
2．4．2转速比的影响
2．4．3叶序系数的影响
2．4．4磨削深度的影响
2．4．5磨粒轮廓的影响
2．5本章小结
第3章工程化砂轮的设计与制造
3．1砂轮的设计
3．1．1砂轮基体的设计
3．1．2排布参数的确定
3．2叶序排布掩膜的制备
3．2．1掩膜的功能及性能要求
3．2．2叶序排布掩膜的选取
3．2．3叶序排布掩膜的制备
3．2．4曝光过程中的故障分析
3．3磨料和电镀液的选择
3．3．1电镀原理
3．3．2磨料的选择
3．3．3电镀液的选择
3．3．4电镀液配方对电镀结果产生影响的分析
3．4叶序排布砂轮的制造工艺
3．4．1电镀前准备工作
3．4．2电镀设备介绍
3．4．3电镀过程中的上砂方法
3．4．4掩膜孔尺寸对砂轮上砂效果的影响
3．4．5电镀工艺过程
3．5电镀质量的检测
3．5．1电镀镍层的要求
3．5．2电镀镍层性能测试
3．6不合格砂轮的处理
3．6．1机械去除法
3．6．2化学退除法
3．6．3电解退除法
3．7本章小结
第4章结构化表面的磨削实验研究
4．1实验设备与总体条件
4．1．1工件前处理抛光设备
4．1．2磨削实验装置
4．1．3工件观测装置
4．1．4实验方案与条件
4．2．1磨粒叶序排布砂轮的磨削结果与分析
4．3结构化表面缺陷分析
4．4本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果
致谢
