声明
1 绪论
1.1 选题背景及意义
1.2 微接电开关及其制作研究进展
1.3 微光栅及其制作研究进展
1.4 本文的研究内容
2 微接电开关及工艺难点分析
2.1 微接电开关
2.2 降低铸层分层的方法
2.3 制作高深宽比胶膜
2.4 本章小结
3 微接电开关的制作
3.1 微接电开关的制作工艺
3.2 微接电开关的封装与测试
3.3 本章小结
4 金属基底上铜微光栅的制作
4.1 铜微光栅及其制作要求
4.2 铜微光栅的制作流程
4.3 铜微光栅结构尺寸测量
4.4 本章小结
总结
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢