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目录
第1章 绪论
1.1 纳米薄膜材料简介
1.2 薄膜生长研究的介绍
1.3 低能沉积薄膜的分子动力学模拟研究现状
1.4 本文的组织结构
1.5 本文的研究目的及主要工作
第2章分子动力学模拟方法的介绍
2.1引言
2.2分子动力学模拟的基本思想
2.3分子动力学的基本算法
2.4经典分子动力学的近似处理
2.5基体模型的近似处理
2.6分子动力学的系综
2.7原子间相互作用势介绍
2.8分子动力学计算流程
2.9 分子动力学模拟软件介绍
第3章Au/Au(111)薄膜生长的分子动力学模拟
3.1 引言
3.2 物理模型和计算方法
3.3 模拟结果与讨论
3.4 薄膜生长过程的分析
3.5 本章小结
第4章 Cu/Si(001)薄膜生长的分子动力学模拟
4.1 引言
4.2 物理模型的构建
4.3 沉积过程
4.4 沉积过程的模拟结果及分析
4.5 本章小结
第5章 全文总结及展望
5.1本文主要研究工作
5.2本文主要创新点
5.3本课题存在的问题及今后研究的设想
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文和参加科研情况说明
致谢