声明
注释表
第一章 绪论
1.1引言
1.2单晶锗的研究现状
1.3抛光技术的研究现状
1.4低温抛光技术中的关键问题
1.5本文研究的目的、意义与主要内容
第二章 冰粒型固结磨具抛光锗单晶片的温度场研究
2.1引言
2.2抛光温度场有限元模型
2.3抛光温度场模型的验证实验
2.4抛光温度场的仿真结果与分析
2.5本章小结
第三章 冰粒型固结磨具抛光锗单晶片的面型控制研究
3.1引言
3.2抛光系统的受力分析
3.3抛光速度场研究
3.4抛光应力场研究
3.5接触应力分布的测量
3.6面型测试结果分析
3.7本章小结
第四章 冰粒型固结磨具抛光锗单晶片的工艺研究
4.1引言
4.2冰粒型固结磨具的制备
4.3抛光对比实验研究
4.4粗抛实验研究
4.5精抛实验研究
4.6本章小结
第五章 总结与展望
5.1总结
5.2展望
参考文献
致谢
在学期间的研究成果及发表的学术论文