声明
摘要
第一章 绪论
1.1 VCSEL的发展状况
1.2 VCSEL的基本结构及优势
1.3 VCSEL的应用前景及发展方向
1.4 本论文的主要研究内容
第二章 VCSEL的相关理论
2.1 VCSEL的基本理论
2.2 远场发散角
2.3 光束质量
第三章 VCSEL的制备工艺
3.1 外延片生长
3.2 新型发散式电极结构光刻版的制作
3.3 光刻工艺
3.4 腐蚀工艺
3.5 氧化工艺
3.6 欧姆接触工艺
第四章 新型电极结构VCSEL的光束特性分析
4.1 新型电极结构VCSEL单管器件的输出特性与光束特性分析
4.2 新型电极结构VCSEL阵列器件的光束特性分析
结论与展望
致谢
参考文献
长春理工大学;