声明
1 引言
1.1 研究背景及意义
1.2 电容式传感检测的发展与应用
1.2.1 电容传感元件
1.2.2 检测电路
1.3 本文主要研究内容
2 基于二极管开关的充放电式电容位移传感电路原理分析
2.1 电路结构方案
2.1.1 基于二极管的充放电开关控制工作原理
2.1.2 充放电电流灵敏度分析
2.1.3 跨阻放大器及灵敏度分析
2.2 传感电路的仿真分析
2.3 本章小结
3 传感电路的噪声分析
3.1 方波发生电路的噪声分析
3.1.1 晶振噪声影响
3.1.2 电压基准装置噪声影响
3.2 二极管开关电路噪声分析
3.2.1 二极管噪声影响
3.2.2 二极管参数与类型的选择
3.2.3 二极管噪声测试
3.3 跨阻放大器噪声分析
3.4 差分电路噪声影响
3.5 二极管与跨阻放大器的不对称性噪声分析
3.6 传感电路噪声总结
4 电容传感电路的实验测试
4.1 并联基准源的电压噪声谱密度测试
4.2 传感电路灵敏度系数的标定
4.3 传感电路电容分辨率的测试
4.4 传感电路功耗的测量
4.5 本章小结
5 小型化及应用的初步方案
5.1 三自由度同步检测方案
5.2 小型化的初步方案
5.3 本章小结
6 总结与展望
致谢
参考文献
