光学零件表面轮廓干涉测量方法研究
RESEARCH ON OPTICAL SURFACETESTING WITH INTERFEROMETERS
摘要
Abstract
第1章 绪论
1.1 课题研究背景及意义
1.2 国内外研究现状分析
1.3 论文主要内容
第2章 光学零件表面轮廓测量方法
2.1 剪切干涉测量原理
2.2 EFL M50 干涉仪测量原理
2.3 EFL M50 干涉仪结构设计与参数调整
2.4 本章小结
第3章 光学零件表面轮廓的测量实验
3.1 实验设备及所测零件
3.2 使用EFLM50 干涉仪的平面测量实验
3.3 使用PGI 的测量平面实验
3.4 测量结果的对比分析
3.5 本章小结
第4章 光学零件表面轮廓测量精度影响因素分析
4.1 PGI 的测量精度影响因素及误差分析
4.2 EFLM50 干涉仪测量影响因素分析
4.3 两种测量方法的优缺点比较
4.4 在位剪切干涉测量总体误差分析
4.5 本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书
致谢