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目录
第1章 绪 论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 碳膜电位计国内外研究现状
1.3 课题主要研究的内容
第2章 修刻系统算法研究
2.1 碳膜电位计工作原理及技术指标
2.2 碳膜电位计线性度算法
2.3 基于恒流源的测量算法
2.4 连续修刻算法的初步研究
2.5本章小结
第3章 修刻系统硬件设计
3.1 修刻系统整体方案设计
3.2 修刻系统机械结构部分
3.3 修刻系统电气部分设计
3.4 修刻系统控制部分设计
3.5本章小结
第4章 自动检测修刻系统软件设计
4.1 修刻系统软件总体设计
4.2 电压数据采集程序
4.3 电刷寻零程序
4.4 自动测量程序设计
4.5 自动修刻程序设计
4.6 本章小结
第5章 修刻系统实验验证与分析
5.1 系统实验方案设计
5.2 修刻系统精度检测
5.3 连续修刻算法实验验证与分析
5.4 参数优化实验
5.5 本章小结
结论
参考文献
声明
致谢