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第1章绪论
1.1等离子体及其特征
1.1.1等离子体的概念
1.1.2低温等离子体技术的最新进展与展望
1.2磁过滤阴极弧等离子体沉积技术
1.2.1阴极弧简介
1.2.2宏观粒子过滤装置
1.2.3阴极弧过程中薄膜的生长
1.3磁过滤沉积设备及其改进
1.3.1磁过滤沉积设备简介
1.3.2磁过滤设备的改进
1.4研究背景和选题依据
1.4.1研究背景
1.4.2选题依据
参考文献
第2章结合磁过滤阴极弧等离子体沉积技术制备类金刚石薄膜的研究
2.1无氢类金刚石碳膜
2.1.1 DLC膜的性质
2.1.2 DLC膜的结构
2.1.3 DLC膜的sp3/sp2成分分析
2.1.4无氢类金刚石材料的一些主要性能
2.1.5类金刚石薄膜的用途
2.2实验部分
2.2.1实验方法
2.2.2结果与讨论
2.3结论
参考文献
第3章结合磁过滤阴极弧等离子体沉积技术制备氧化锌薄膜的研究
3.1 ZnO的性质和功能
3.1.1 ZnO性质简介
3.1.2 ZnO功能简介
3.2 ZnO表征方法
3.3实验部分
3.3.1实验方法
3.3.2结果与讨论
3.4结论
参考文献
第4章自组装技术制备稀土Y润滑薄膜的研究
4.1引言
4.2实验部分
4.2.1基片处理
4.2.2 Y2O3薄膜的制备
4.2.3薄膜的形貌分析和结构表征
4.2.4摩擦学性能测试
4.3结果与讨论
4.3.1薄膜的结构表征
4.3.2 Y薄膜的摩擦学性能
4.4结论
参考文献
第5章结论与展望
研究生期间完成论文
致谢