封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章绪论
1 .1介绍
1 . 2深度分辨率Az及其优化
1 .3信号强度与浓度及溅射时间与溅射深度的转换
1.4 MRI模型
1 .5小结
1 .6课题研宄目的与意义
1 .7论文结构
参考文献
第二章实验技术简介
2 .1原子力显微镜(AFM)
2 .2真空退火技术
2 .3溅射深度剖析技术
参考文献
第三章MRI模型和响应函数
3 .1介绍
3.2 MRI模型和Dowsett响应函数的比较
3.2 MRI模型解析函数的应用
3 .4小结
参考文献
第四章Si/Ti多层膜样品SIMS和AES溅射深度谱的定量分析
4 .1介绍
4 .2实验
4 .3结果及讨论
4 .4小结
参考文献
第五章GaAs/AlAs超晶格多层膜结构SIMS和AES溅射深度谱的定量分析
5 .1介绍
5 .2实验
5 .3结果和讨论
5 .4小结
参考文献
第六章GaAs/AlAs超晶格多层膜扩散系数的确定
6 .1介绍
6 .2实验
6 .3结果和讨论
6 .4小结
参考文献
第七章总结
致谢
攻读硕士学位期间已发表和未发表的学术论文
作者简介