第一章 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 三维轮廓测量技术
1.2.1 接触式测量
1.2.2 非接触式测量
1.3 本文主要研究内容
1.4 论文结构
第二章 平衡型谱域光学相干层析成像系统
2.1 平衡型谱域光学相干层析成像系统的元器件
2.1.1 SLD光源及激光控制器
2.1.2 非球面镜
2.1.3 柱面镜
2.1.4 分光棱镜
2.1.5 衍射光栅
2.1.6 光楔
2.1.7 CCD相机
2.2平衡型谱域光学相干层析成像系统
2.3 本章小结
第三章 光学相干层析三维轮廓测量的基本原理
3.1 光学相干层析原理
3.2 波数扫描干涉
3.3 双通道谱域光学相干层析的原理
3.4 本章小结
第四章 手机屏幕的测量实验
4.1轮廓测量系统的对焦
4.2 光滑表面的测量
4.3 环氧树脂基材料的测量
4.3.1 环氧树脂基材料的制备过程
4.3.2 树脂基材料的测量
4.4 手机屏幕的测量
4.4.1 智能手机屏幕的结构
4.4.2 实验所用荣耀手机屏幕结构
4.4.3 手机屏幕的测量实验
4.5 本章小结
总结与展望
参考文献
攻读学位期间获得的成果
声明
致谢
