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目录
1 绪 论
1.1 本文研究背景及意义
1.2 国内外研究现状
1.3 MEMS加工技术简介
1.4 本文研究内容
2 粗糙齿面磨损数值计算模型建立
2.1 引言
2.2 表面微凸体的统计模型
2.3 齿面微凸体接触模型
2.4 粗糙齿面磨损数值计算模型
2.5 本章小结
3 粗糙齿面磨损分析
3.1 引言
3.2 表面吸引力作用对齿面磨损的影响
3.3 齿面粗糙度对齿面磨损的影响
3.4 材料性能对齿面磨损的影响
3.5 微凸体顶点曲率半径对齿面磨损的影响
3.6 齿面综合参数对齿面磨损影响
3.7 本章小结
4 微齿轮齿廓优化设计
4.1 引言
4.2 齿廓设计原理
4.3 最优偏距值确定
4.4 本章小结
5 优化后微齿轮副轮齿性能评价
5.1 引言
5.2 微齿轮副齿廓
5.3 齿面性能对比分析
5.4 中心距可分性验证
5.5 本章小结
6 总结与展望
6.1 主要研究内容总结
6.2 研究不足之处及展望
致谢
参考文献
附录
A. 作者在攻读学位期间发表的论文目录