声明
摘要
第1章 绪论
1.1 AlN的性质及应用
1.2 AlN粉末的制备方法
1.2.1 直接氮化法
1.2.2 碳热还原法
1.2.3 化学气相沉积法
1.2.4 液相法
1.2.5 等离子体法
1.3 机械力活化合成AlN
1.3.1 机械活化合成法
1.3.2 DBDP辅助球磨
1.4 本文的研究意义及主要内容
第2章 实验方案及DBDP辅助球磨的放电诊断
2.1 实验方案
2.2 DBDP辅助球磨实验设备
2.2.1 介质阻挡放电概述
2.2.2 电极结构及介质层材料
2.2.3 DBDP辅助球磨装置
2.3 DBDP辅助球磨放电诊断
2.3.1 DBDP的放电形貌
2.3.2 DBDP辅助球磨的电学诊断
2.4 本章小结
第3章 气态氮源中DBDP辅助球磨低温合成AlN
3.1 前言
3.2 NH3做氮源DBDP辅助球磨合成AlN
3.2.1 实验方案
3.2.2 球磨后粉末的形貌分析
3.2.3 球磨后粉末的物相分析
3.3 N2做氮源DBDP辅助球磨合成AlN
3.3.1 实验方案
3.3.2 球磨后粉末的物相分析
3.3.3 混合粉末的烧结处理
3.4 本章小结
第4章 DAMN做固态氮源低温合成AlN
4.1 前言
4.2 实验内容与设备
4.2.1 实验内容
4.2.2 检测方法
4.3 结果与分析
4.3.1 球磨后混合粉末微观形貌分析
4.3.2 球磨后混合粉末的物相分析
4.3.3 球磨后混合粉末的热分析
4.3.4 Al+DAMN体系的热动力学分析
4.3.5 混合粉末的烧结处理
4.3.6 Al+DAMN混合粉末官能团结构的变化分析
4.4 本章小结
第5章 结论与展望
5.1 结论
5.2 展望
致谢
参考文献