エレク卜口マイグレーションによるマイクロ·ナノ材料創製

摘要

近年，マイクロ •ナノ材料創製手法の開発が盛んである.マイクロ •ナノ材料は微細構造に起因した高比表面 積，高アスペクト比等優れた物理的諸特性(1)を有するため，高精度センサや微細な電子配線など様々な工業製品 に応用されている.とりわけ金属マイクロ ナノ材料は他のマイクロ ナノ材料と比較して加工性，コストなど の優位性を持つ.このような点から金属マイクロ'ナノ材料は次世代材料としての利用が期待されており，様々な創製技術が現在研究されている.